(相關(guān)資料圖)

設(shè)備控制用通訊協(xié)定GEMGEM(Generic model for communications and control of mau=nufacturing equipment),之前介紹過SECS II是半導(dǎo)體設(shè)備主機(jī)的一個(gè) 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)定，但實(shí)際在設(shè)備上并非全部會(huì)使用到。因此，若可找出設(shè)備控制上所需要用的功能項(xiàng)，并同時(shí)針對(duì)這些功能項(xiàng)來開發(fā)程式，以及設(shè)計(jì)機(jī)臺(tái)，則可以省下許多研發(fā)費(fèi)用。于是，Global Information & Control committee在1992年提出了GEM的規(guī)范，只要滿足GEM所定的規(guī)范與功能需求的設(shè)備，即可稱之為滿足SECS I,SECS II與GEM的設(shè)備。

用圖來表示

符合GEM規(guī)范的設(shè)備具有以下的功能以及處理信息的能力1.建立連接1. 建立通訊（Establish Communications）：主機(jī)與設(shè)備互相要求對(duì)方建立連接，相關(guān)的Stream Function為S1F1/S1F2,S1F13/S1F142.資料收集2.1 事件告知（Even Notification）:在設(shè)備Running中，自動(dòng)回報(bào)特定的資料給Host。Host無需以主動(dòng)詢問的方式來獲得設(shè)備資料，相關(guān)Stream Function為S6F5/F6,S6F11/F12與S6F15/F16          2.2 動(dòng)態(tài)事件回報(bào)規(guī)劃（Dynamic Event Report Configuration）:提供在一些制程環(huán)境可彈性要求設(shè)備提供所需的資料，HOST可任意的增加或者減少設(shè)備資料的輸出量。相關(guān)Stream Function為：S2F39/40,S2F33/F34,S2F35/F36與S2F37/F382.3 參數(shù)資料收集（Variable Data Collection）：Host可用來詢問設(shè)備的信息參數(shù)，在初始化和通訊同步化的過程中用處很大，相關(guān)Stream Function為S6F19/F202.4 追溯資料收集（Trace Data Collection）：要求設(shè)備以固定的周期來取樣所需的信息，可用來某些追蹤參數(shù)變化的趨勢(shì)，以監(jiān)控其數(shù)值。相關(guān)Stream Function為 S2F23/F24,S6F1/F2與S2F23/F24???????2.5 極限監(jiān)控（Limits Monitoring）:此項(xiàng)功能可使Host在必要的時(shí)候修改監(jiān)控的參數(shù)值范圍（上限與下限），提供HOST一個(gè)具有彈性，有效率并且非同步的方法來監(jiān)控設(shè)備的狀況。此一功能已被應(yīng)用在生產(chǎn)操作及測(cè)試上，同時(shí)也可應(yīng)用于在程序控制統(tǒng)計(jì)（SPC Statistical Process Control）相關(guān)Stream Function為S2F45/F46,S2F39/F40,S2F47/F482.6 狀態(tài)信息收集（Status Data Collection）:此功能為Host主動(dòng)發(fā)送信息要求設(shè)備回復(fù)指定的狀態(tài)信息，作用于與設(shè)備狀態(tài)進(jìn)行同步。相關(guān)Stream Function為：S1F3/F4,S1F11/F12???????2.7 線上辨認(rèn)（On-line Identification）：滿足SEMI E5的基本要求，設(shè)備回應(yīng)設(shè)備當(dāng)前模式以及軟件版本。相關(guān)Stream Function為：S1F1/F23.警報(bào)管理???????3.1 警報(bào)管理（Alarm Management）：使得Host可以遠(yuǎn)程得知設(shè)備上所發(fā)生的警報(bào)情況。相關(guān)Stream Function為S5F3/F4,S5F5/F6,S5F1/F2,S6F11/F12.4.遠(yuǎn)程控制4.1遠(yuǎn)程控制（Remote Control）：提供一個(gè)比設(shè)備更高的控制權(quán)限             -----啟動(dòng)（Start）             -----選擇程式（PP-Select）             -----停止（Stop）             -----暫停（Pause）             -----重新啟動(dòng)暫停中的程序（Resume processing）             -----放棄制造程序（Abort processing） 相關(guān)Stream Function為S1F41/F42,S2F49/F50與S6F11/F125.設(shè)備常數(shù)???????5.1設(shè)備常數(shù)（Equipment Constant）：提供一個(gè)Host可以取得及變更設(shè)定常數(shù)的方法，Host可在不同的情況下修改設(shè)備參數(shù)以獲得更佳的產(chǎn)品質(zhì)量或產(chǎn)出。相關(guān)Stream Function為S2F15/F16,S2F15/F16,S2F13/F14,S2F19/F20,S2F29/F30與S6F11/F12.6.制程程序管理6.1制程程序管理（Process Program Management）:主要目的為在Host與設(shè)備間傳送制程程序與管理這些制程配方。Host將設(shè)備運(yùn)作的程序配方（Recipes）下載并儲(chǔ)存與設(shè)備中，供其編輯，驗(yàn)證及執(zhí)行。工程師所規(guī)劃的不同配方以及設(shè)備狀態(tài)不同的條件下，每一批產(chǎn)品也都有不同的結(jié)果。因此配方的下達(dá)所需要考慮的情況也相當(dāng)多，這也都是半導(dǎo)體廠最重要的一道生產(chǎn)程序。相關(guān)Stream Function為S6F11/F12,S7F17/F18,S7F19/F20,S7F25/F26,S7F5/F6,S7F1/F2,S7F23/F24,S7F3/F4,S7F29/F30,S7F27/F28,S6F11/F12,S15F35/F36,S14F1/F2,S15F31/F32.S15F1/F2,S15F21/F22,S15F27/F28,S15F29/F30.7.材料搬移7.1材料搬移（Material Movement）:此功能包括了在設(shè)備的暫存區(qū)與存放區(qū)之間Wafer的互相傳送，Wafer的傳送可借由AGV機(jī)器人，軌道車，傳送帶以及一些專門用來搬運(yùn)的設(shè)備。相關(guān)Stream Function為S6F11/F128.設(shè)備終端服務(wù)8.1終端服務(wù)（Terminal Services）：允許Host在設(shè)備的顯示裝置上顯示一些信息，或顯示由操作員傳送到Host的信息。相關(guān)Stream Function為：S10F3/F4,S10F1/F2,S10F3/F4,S6F11/F12,S10F5/F6以及S10F7。9.錯(cuò)誤信息9.1錯(cuò)誤信息（Error Message）：提供Host由設(shè)備偵測(cè)到的一些有關(guān)特殊信息或者通訊失敗的原因。相關(guān)Straem Function為S9F1,S9F3,S9F5,S9F7,S9F9,S9F11,S9F13(前一篇有詳細(xì)介紹)10.時(shí)間10.1時(shí)間（Clock）:機(jī)臺(tái)提供Host一個(gè)動(dòng)作的參考時(shí)間以及多個(gè)設(shè)備間的時(shí)間參考，這個(gè)時(shí)間可提供Event或者Alarm發(fā)生的時(shí)間便與解析，追溯。相關(guān)Stream Function為S2F17/F18,S2F31/F32

以上就是Gem規(guī)范的功能了，里面提到的一些Stream Function我在之前的帖子多少也有解釋。 冰凍三尺非一日之寒

最后再次感謝 七劍軟件-半導(dǎo)體軟件領(lǐng)先制造者 的合作配合